中国报告大厅网讯,CMP抛光材料是半导体制造中至关重要的一类材料,广泛应用于集成电路制造过程中,用于平整芯片表面,去除不需要的材料并确保工艺精度,以下是2024年CMP抛光材料行业现状分析。
《2024-2029年中国CMP抛光材料行业项目调研及市场前景预测评估报告》指出,CMP抛光材料包括抛光液和抛光垫、浅沟槽隔离、多晶硅、二氧化硅介电层和修整盘等,其中抛光垫和抛光液是CMP工艺的关键因素。
CMP作为半导体材料的抛光步骤的关键原材料,多年来一直属于“卡脖子”状况,随着安集科技突破抛光液之后,国产化替代正式开始,但目前技术仍有待提升,且抛光垫技术壁垒更厚背景下市场集中度更高,国产化难度更高,政策推动整体集成电路发展背景下,国产化将继续推进。
从产业链来看,CMP材料产业链与万华化学聚氨酯板块相关度高,抛光液主要原料包括研磨颗粒、各种添加剂和水,其中研磨颗粒主要为硅溶胶和气相二氧化硅。化学机械抛光液原料中添加剂的种类根据产品应用需求有所不同,如金属抛光液中有金属络合剂、腐蚀抑制剂等,非金属抛光液中有各种调节去除速率和选择比的添加剂。
目前,国内CMP抛光材料产业起步慢,企业数量少,规模较小,仅有少数企业能实现量产,在市占率方面也与国外厂商有相当的差距。抛光垫领域,Dow(陶氏化学)、Cabot、Thomas West等外资厂商公司拥有90%以上市场份额。国产化替代尚未突破这一领域,鼎龙股份存在少量产能,主要用于面板行业。
技术要求不断提升:随着半导体制造技术朝着更小的节点发展(如7nm、5nm及更小节点),CMP材料的要求也随之提高。CMP抛光材料行业现状分析指出,现代芯片制造过程中,需要使用更精细、更加均匀的抛光材料,以确保良好的表面平整度和更高的产量。
绿色环保要求:随着环保法规的日益严格,CMP抛光材料的生产和使用需要更加关注环保和可持续性问题。减少挥发性有机物(VOCs)和其他有害化学品的排放。开发可以再利用或降解的抛光液,以减少对环境的长期影响。
自动化和智能化:随着制造过程的复杂性增加,CMP设备和材料的自动化程度也在提高。智能化的CMP过程控制可以提高产量、降低缺陷率并提高效率。通过传感器和数据采集技术,实时监控抛光过程中的各种参数(如压力、温度、化学成分等),确保表面质量。
多功能材料的开发:用于抛光的化学物质和用于机械磨削的物理材料。随着技术需求的变化,越来越多的多功能CMP抛光材料应运而生,它们在单一材料中结合了化学作用与机械作用,能够更高效地去除材料,同时保持更好的表面质量。
定制化和客户化:不同的芯片制造商和设备厂商对CMP抛光材料的需求各不相同,因此定制化材料的需求越来越大。生产商正在根据客户的具体需求,如芯片种类、制造工艺以及生产规模,提供量身定制的CMP抛光材料解决方案。
总之,CMP抛光材料行业正面临着一系列挑战和机遇。随着半导体制造工艺的不断进步,对CMP材料的要求越来越高,同时也推动了相关技术的创新。未来,CMP抛光材料将朝着高效、环保、智能化和定制化的方向发展,且全球化市场竞争也将加剧。